台式扫描电镜 1、光学系统 光源：自动控制，钨丝阴极, 预对中灯丝。聚焦：具有手动及自动聚焦功能。分辨率 : 8.0nm @30KV SE Image；放大倍数 : x20 ~ x100,000；加速电压: 1kv - 30kv；磁透镜系统 :双聚光镜；物镜光阑 : 4位可移动，摇摆对中；扫描光栅电位移及旋转： +/-50um ，0~360° 2、样品室系统 样品室: 6个接口，可接配内置外置EDS；样品台：三轴马达驱动， X (35mm) Y (35mm)T (0~45°)R360Z向手动（5-50mm）；样品尺寸(最大) : 直径60mm 高度45mm 3、真空系统 全自动 (真空时间: 小于2分钟)； 前级真空: 旋片式机械泵； 高真空 : 涡轮分子泵 4X10-3 Pa 4、探测器系统 探测器: E-T型二次电子探测器；高灵敏四分割半导体背散射电子探测器（选配）；扫描模式： 选区 (320 x 240 pixel)， TV全屏扫描模式：（640 x 480pixel）， 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)， 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 pixel，示波器扫描模式；图像格式 : JPG, TIFF, BMP ；图像显示器: 21.5 LCD Monitor ；自动控制功能： 电子枪饱和， 电子枪对中， 电子枪偏压， 亮度对比度， 聚焦；工作距离 : 4 ~50mm；控制系统 : USB通讯接口计算机控制,Dell i5 PC, 21.5英寸显示器，独立显卡 2G内存，操作系统 : Windows 7 ；图像处理分析软件 : 图像标注编辑存储， 长度、角度，面积等测量功能， 实时图像灰度直方图显示。 布鲁克能谱仪 主要参数： 1、XFlash®探头 430M：能量分辨率< 133 eV (MnKa, 100 000 cps), 1-100 000 cps分辨率保持不变；最大输入计数率> 150 kcps；活性面积30 mm2；超薄窗口，元素探测范围硼(5)至镅(95)；-完全无振动，完全免维护，帕尔贴效应致冷。 2、XFlash® MIN SVE信号处理单元 (D330)，最大可输出计数率60kcps；超低死时间混合脉冲数据处理器；完全由软件自动控制的硬件校准 3、输入输出扫描系统和用于实时谱图采集的 Mega Link接口适配器 4、ESPRIT Spectrum ,用于谱图采集和定性分析的软件，带有实时模式和最完备的原子数据库 5、ESPRITUQuant，用于无标样定量谱图分析的自动软件工具 6、ESPRIT UQuant（Q113），供专业用户使用的扩展谱图分析选项 7、ESPRIT UQuant，用于用户自定义谱图评估方法的编辑器 8、ESPRIT Scan(Q201)，从两个可选择的信号源，例如 SE和 BSE，采集图像的软件，以及用于外部扫描系统的驱动器（ 4096x4096像素） 9、ESPRIT Multipoint，自动多点和选区分析软件 10、ESPRIT Line(Q203)，存储谱图数据库的超快速线扫描软件 11、ESPRIT Map(Q204)，超快速元素面分布 12、ESPRIT Project(Q126)，数据管理和归档系统 13、ESPRIT Report(Q121)，生成报告和格式化打印 14、ESPRIT SEMLink(Q122)，与 SEM的数据通信 15、Mylar膜 | 
